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18511227625更新时间：2024-07-30
HORIBA堀场HF密度计HF-960EM用于半导体制造工艺的HF浓度计HF-960EMHF-960EM是使用带有*润湿部件的传感器作为PFA的型号，并且符合半导体工艺中的清洁度要求。传感器尺寸缩小到极限，实现了节省空间的安装。提高稳定性和重现性准确性，并支持高达50％HF浓度的宽量程。特征宽范围设置，HF浓度高达50％高稳定性/再现性精度内置温度测量传感器支持高达80℃的HF样品
| 品牌 | 其他品牌 | 密度温度范围 | 10℃ |
|---|---|---|---|
| 密度测量范围 | 1g/cm3 | 最小取样量 | 1ml |
| 密度精度 | 1g/cm | 价格区间 | 5千-1万 |
| 检测类型 | 测液体样品 | 仪器类别 | 台式 |
| 行业应用 | 通用密度计 | 仪器种类 | 真密度计 |
| 应用领域 | 环保 |
用于半导体制造工艺的HF浓度计HF-960EM
HF-960EM是使用带有*润湿部件的传感器作为PFA的型号，并且符合半导体工艺中的清洁度要求。传感器尺寸缩小到极限，实现了节省空间的安装。提高稳定性和重现性准确性，并支持高达50％HF浓度的宽量程。
特征
宽范围设置，HF浓度高达50％
高稳定性/再现性精度
内置温度测量传感器支持高达80℃的HF样品测量。 FS精度达到±0.5％。
自动量程功能
无污染/耐化学腐蚀传感器
清洁结构的传感器，仅使用PFA作为液体接触材料。由于它是一种耐化学腐蚀的传感器，因此可以用于测量半导体工艺中使用的各种化学物质。
小型轻巧的传感器
与我们的传统产品相比，尺寸缩小了2/3，并且重量进一步减轻。通过将其安装在单晶圆喷嘴的前面，可以提高安装空间的灵活性
型式 | HF-960EM |
|---|---|
測定レンジ | HF: 0 - 50%, HCl: 0 - 10%, 導電率: 0 - 2000 mS/cm |
繰り返し性 | フルスケールの+/- 0.5% 以内（等価入力にて） |
直線性 | フルスケールの+/- 0.5% F.S. 以内（等価入力にて） |
伝送出力 | 出力点数：4点 |
接点出力 | 出力点数：5点 |
接点入力 | 入力点数： 2点 |
通信機能 | RS-485 |
電源 | DC 24 V +/- 10% 15W |
適合センサ | CM-520 Series |
接液部 | PFA |
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