542-715 LGH-1010-B-EH激光全息光栅测微仪

 光栅式测微仪
●支持自动化仪表及量具的配套使用

 542 系列 激光全息光栅式测微仪
LGH (0.01μm 分辨力、0.005μm 分辨力)
• 在10mm 的宽范围内实现了与激光干涉仪
相同的0.005μm 或0.01μm 的高分辨力和高
精度。
• 紧凑性的机身使得装置本身小型化，不仅
可以作为高精度零部件的测量以及高精度
定位· 控制装置长度测量的传感器，还适用
于作为各种测量机的标准规。
• 新型号采用光电式反射型线性编
码器，在低价格下实现了0.01μm
高分辨率，指示精度0.2μm，测
量范围10mm的宽范围。
• 响应速度与以往产品相比提高了
2.8倍(250mm/s⇒700mm/s)，兼顾
了高精度和高速度。
• 装配新开发的超高精度透射型线
性编码器，实现0.005μm(5nm)的
高分辨力。
• 在测量范围10mm的宽范围内实
现了指示精度0.1μm。适用于标
准规的校正·赋值，以及用于测
量机的基准器。
• 也具有低测力规格产品：根据用途可以选
择低测力规格，可以测量易变形工件和高
性能胶片等。
• LGH 系列是与计数器的组合规格

 测微头测微头542-715
LGH-1010-B-EH
542-720
LGH-0510-B-EH

校准规校准高精度零件的检查

 校准规校准高精度零件的检查

 分辨力0.01μm、指示精度0.2μm 类型
货号542-715 (标准型) 542-716 (低测力型)
型号LGH-1010-B-EH LGH-1010C-B-EH
测量范围10mm
分辨力0.01μm (0.05μm, 0.1μm, 0.5μm, 1μm 用计数器可切换)
指示精度(20ºC)*1 0.2μm
重复精度(20ºC)*1 0.1μm (2σ)
量化误差(20ºC)*1 0.1μm
测力
测杆朝下0.65N 以下约0.12N
测杆水平0.55N 以下不可使用
测杆朝上0.45N 以下不可使用
位置检出方式光电反射型线性编码器
响应速度通常测量时：700mm/sec 峰值检测时：120mm/sec
重量约370g
测头硬质合金Sø3mm (M2.5 (P=0.45) × 5mm) 标准测头No.901312
装夹套筒ø15mm
轴承类型高精度线性滚珠轴承
输出电缆长度约2m
运行温度(湿度) 范围0Cº ～ 40Cº (基准温度20Cº) / 20 ～ 80%RH (无冷凝)
存储温度(湿度) 范围− 10Cº ～ 60Cº / 20 ～ 80%RH (无冷凝)

 542-715 LGH-1010-B-EH激光全息光栅测微仪