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18511227625更新时间：2024-08-01
M-320XG真空计canon-anelvaクリスタルゲージ M-320XG（真空計）クリスタルゲージ M-320XG
| 品牌 | 其他品牌 | 货号 | M-320XG |
|---|---|---|---|
| 规格 | 1 | 供货周期 | 一个月以上 |
| 主要用途 | 真空计 | 应用领域 | 环保,电子,电气 |
| 测量压力范围 | 1×10-2Pa |
M-320XG真空计canon-anelva
M-320XG真空计canon-anelva
可在从大气压到 1 x 10-2 Pa 的广泛范围内进行高度可靠的测量。 由于晶体振荡器的谐振阻抗根据压力而变化，因此重现性更高，可以在大气压附近进行高稳定性的测量。 它可用作压力开关，用于检测腔室中的大气压力通风口，也可用于测量过程压力
特征 测量范围广 从大气压到 1 x 10-2 Pa 范围内的测量具有出色的再现性。 安全性高 水晶真空计是一种没有热源（灯丝）的真空计。 紧凑且超轻 控制器只有手掌大小，仅重 200 克
用 各种真空装置的粗加工压力测量 各种过程的压力测量 用于检测腔室通风口等的压力开关。 从大气压到10-2P*别的其他压力测量
| 型 名 | M-320XG | |
|---|---|---|
| 測定球 | XG-1クリスタルゲージヘッド（クリスタルゲージ専用） | |
| 測定圧力範囲 | 1×10-2Pa～大気圧 | |
| Gas種選択 | N2、Ar、H2、Air | |
| アナログ出力 （圧力信号） | DC 0-10V：デジットスイッチにより下記項目出力形式設定 ①Log出力 ②複合出力 ③リニア出力 フルスケール圧力レンジ選択可能（1×101、1×102、1×103、1×104、1×105Pa） | |
| リモートI/O | INPUT | ①ガス種設定 2bit信号で切換 ②ゼロ点調整 ③ATM設定 |
| OUTPUT | セットポイント出力2点 | |
| セットポイント | 2点（フォトカプラ出力、ヒステリシス固定） デジットスイッチにより設定（SP1、SP2共仮数部、指数部） | |
| 動作環境 | 5℃～50℃（コントローラー含む） ゲージヘッドのみの耐熱温度150℃MAX | |
| ゼロ点調整 | PUSHスイッチ又は、リモートI/O入力によるソフトウェアゼロ調整 | |
| フルスケール調整 | トリマーボリュームによる調整 | |
| 入出力コネクタ | Dsub 15P | |
| 表示 | LED 3ヶ（PWR／ALM???緑／赤の2色発光、SP1-Status???緑、SP2-Status???緑） | |
| 所要電力 | DC 22V～33V、（最大消費電力2W） | |
| 外形寸法（mm） | 72.5H×102W×44.5D（ゲージヘッド含まず） | |
| 質量 | 200g（ゲージヘッド含まず） | |
| センサー取り付けフランジ | NW16、NW25、φ34ICF、φ70ICF等 | |
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