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18511227625更新时间：2024-08-01
canon-anelva量规BRG-1B真空计シュルツゲージ LG-11S／B-Aゲージ UGD-1S／ワイドレンジB-Aゲージ BRG-1B
| 品牌 | 其他品牌 | 货号 | BRG-1B |
|---|---|---|---|
| 规格 | 1 | 供货周期 | 一个月 |
| 主要用途 | 量规 | 应用领域 | 环保,电子,电气 |
| 测量范围 | 10-6～10Pa |
canon-anelva量规BRG-1B真空计
canon-anelva量规BRG-1B真空计
电容式压力表“M-342DG”采用小型硅MEMS芯片作为压力传感器，将温度、振动和大气压力波动等外部环境的影响降至，从而实现高精度和稳定的压力测量。达到最小调零频率
| 型 名 | LG-11S | UGD-1S | BRG-1B | |
|---|---|---|---|---|
| ゲージタイプ | シュルツゲージ | B-Aゲージ | ワイドレンジB-Aゲージ | |
| 形状 | ガラス管状 | |||
| 被測定真空室 との接続 | φ15ゲージポート（Oリング） | |||
用 支持各种高精度、长期稳定的真空压力测量 各种真空器件，如半导体、显示器、太阳能电池等。 ? 真空成膜过程压力控制和监测，如溅射和PECVD ?负载锁定室、晶圆冷却等气体导入工序、系统压力控制 医疗、生物科技、食品等行业，以及各种研发应用 各种镀膜、等离子处理、真空密封、真空炉、分析仪、杀菌、真空泵评价、分子蒸馏等
| 型名 | M-342DG | ||||
|---|---|---|---|---|---|
| -1D | -1N | -11 | -12 | -13 | |
| フルスケール圧力（Pa） | 13.33 | 133.3 | 1.333k | 13.33k | 133.3k |
| 測定精度（％ of reading） | 0.20(at 23℃) | ||||
| ゼロ点温度係数（％ of F.S./℃） | 0.01 | 0.005 | 0.002 | ||
|---|---|---|---|---|---|
| スパン温度係数（％ of reading/℃） | 0.01 | 0.005 | |||
| 分解能（％ of Full-scale） | 0.01 | 0.005 | |||
| 測定下限圧力（％ of Full-scale） | 0.01 | ||||
| 実用測定下限圧力（％ of Full-scale） | 0.05 | ||||
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